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據外媒報導訊息,光刻機巨頭ASML於採訪中證實中國客戶的光刻機訂單許可證申請尚未獲得批准。

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在 2019 中國積體電路設計大會上,中國科學院微電子所的院士劉明,談到中國大陸國內積體電路光刻技術