摩爾定律不死 Intel衝擊1nm製程 採用下一代EUV曝光機

作為摩爾定律的提出者，Intel亦為最堅定的摩爾定律捍衛者，多次表示半導體製程還會繼續提升下去。於現有4年掌握5代CPU製程之後，Intel還啟動了未來兩代的CPU製程研發，目標逼近1nm製程了。

Intel的5代CPU製程分別是：Intel 7、Intel 4、Intel 3、Intel 20A及Intel 18A。其中Intel 7於2021年的第12代Core處理器上首發了，Intel 4會於今年下半年的第14代Core處理器上首發，還會首次採用EUV極紫外光微影。

Intel 3為Intel 4的升級版，Intel 20A及之後的18A則是重大升級，相當於友商的2nm、1.8nm製程，將於2024年上半年及下半年量產，2025年將重新奪回半導體製程的領導地位。

再往後呢？Intel目前的規劃藍圖上尚未提及新的製程，但最新消息指稱，Intel已經啟動了未來兩代製程的定義及研發，但未有明確的資訊。

據IMEC之前公布的晶片製程規劃藍圖來看，2nm製程之後是14A，亦即1.4nm製程，預計2026年推出，再往後就是A10製程，亦即1nm，2028年推出。

Intel要研發的未來兩代製程應該亦為1.4nm、1nm等級的，具體的命名仍要等官方確定，畢竟時間尚早。

2nm之後的製程還要升級裝置，目前的EUV曝光機屆時效率亦不高了，ASML預計會於2026年推出High NA技術的下一代EUV曝光機EXE:5000系列，將NA指標從目前的0.33提升至0.55，進一步提升微影解析度。

但是，下一代EUV曝光機的成本亦會大漲，目前售價約1.5億美元左右，下一代價格預期超過4億美元。

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