早年被孤立 台積電大老講述內幕：靠一絕技崛起

近幾年，台積電一躍成為半導體製造行業的一哥，不僅是全球晶圓代工的絕對主力，且先進製程亦超越了Intel、三星等對手，更首發了EUV製程，明年要量產3nm製程了。

然而，台積電的崛起過程亦非一帆風順的，實際上還非常艱辛，因為20年前Intel等公司如日中天的時候，一度將台積電排除在先進製程之外。

前台積電研發副總經理-浸潤式微影之父-林本堅日前提及上述往事，指出2002年左右，Intel拉攏Motorola、AMD等公司成立了EUV LCC聯盟，一起出錢出力研發EUV相關設備，希望用於未來的60nm、40nm等製程。當時台積電亦希望參與EUV LCC聯盟，因僅限6家，最後一席被IBM搶到，台積電無緣加入。

雖然台積電未加入EUV LCC聯盟，但並未放棄，轉而研究了浸潤式（Immersion）微影技術：微影製程與折射率相關，水中的折射率較空氣要高，有利於提高微影解析度，最終實現了翻身，現在浸潤式微影技術已經成為主流，ASML的先進光刻機皆應用了此技術。

林本堅指出，當年參與EUV LCC聯盟的半導體企業中，除了Intel，其它5家並未再持續參與研發EUV了。

對於台積電而言，林本堅是台積電製程翻身的關鍵人物之一，其於IBM任職22年，主要從事微影技術研究，2000年被蔣尚義邀請至台積電，2002年提出浸潤式微影技術，帶領台積電於晶片製造上翻身，奠定了今日之基礎，可謂功不可沒。

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