ASML計劃今年出貨30台EUV極紫外光刻設備 新型號將亮相

2017年出貨11台，2018年出貨18台，ASML（艾司摩爾）表示，計劃於今年出貨30台EUV極紫外光刻設備。

目前，ASML佔有全球光刻機市場70%的市佔，遠遠領先Nikon，而更重要的是，ASML目前是全球EUV極紫外光刻機的唯一供應商。

ASML將於今年推出產能更高的新型號-Twinscan NXE: 3400C，取代現款售價1.2億美元的Twinscan NXE: 3400B。3400C的每小時晶圓雕刻能力從155片提升至170片，換裝Cymer西盟科技的340W光源。

資料顯示，截至2018年7月，全球公司、研究機構等總共僅安裝了31台EUV極紫外光刻機。當前，大規模使用EUV技術的先進製程仍未量產，三星7nm LPP理論上進度最快，但目前僅限於小規模投產，年底位於韓國華城、投資六兆韓圓的工廠竣工後將是三星7nm EUV主力廠。

另外，台積電的第二代7nm也將在非關鍵步驟上採用EUV技術，Intel、SK Hynix亦都對EUV極紫外光刻機有強烈需求。

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